Ultramoderne Reinräume – Vorteil Park Innnovaare

Park Innovaare bietet Unternehmen Zugang zu den Reinraumeinrichtungen für die Nanofertigung des Paul Scherrer Instiuts PSI sowie zu angrenzenden Reinraum- oder Laborflächen, die Sie für Ihre spezifischen Anforderungen ausstatten und anpassen können. Unser Innovationspark ist der ideale Ort für etablierte Forschungs- u. Technologieunternehmen, die expandieren möchten, sowie für Start-ups und Unternehmen, die eine unternehmerische Plattform für ihre Projekte suchen. Neben den Reinräumen bieten wir auch möblierte Labore für Biologie, Chemie, Physik und Analytik mit Grundausstattung an.

Reinräume PSI: Gemeinsame Forschungsprojekte

Unternehmen am Park Innovaare können in gemeinsamen Projekten oder im Rahmen von "Service-Level-Agreements" mit Forschern des Paul Scherrer Instituts PSI zusammenarbeiten. High-Tech-Unternehmen, die im Bereich Mikro- und Nanofertigung tätig sind, können von dem umfangreichen Know-how der Wissenschaftler am Paul Scherrer Institut PSI profitieren, insbesondere in den Bereichen Plasmabearbeitung, Lithographieprozesse, Dünnschichtentechnologien, Elekronenmikroskopie etc.

Besondere Stärke: Der Vorteil liegt in der umfangreichen Expertise der Wissenschaftler, ergänzt durch eine Vielzahl hochmoderner technologischer Werkzeuge, die zur Verfügung stehen. Im Bereich gemeinsame Projekte bieten die Reinraumeinrichtungen in Kombination mit erfahrenen Fachleuten neue und erweitere Kapazitäten, wie zum Beispiel:

• Von der Chip- bis zur 8-Zoll-Wafer-Fertigungsfähigkeit
• State-of-the-art Halbleiterfertigungsfähigkeiten
• Fortschrittliche Lithographie: zwei 100 kV E-Beams, Graustufen-Lithographie, Röntgenanalyse
• Dünnschichtabscheidung und Trockenätzfähigkeit
• Eine breite Palette von Charakterisierungs- und Messtechnik-Einrichtungen
• Neue Werkzeuge, die auf Quantenanwendungen (supraleitende Filme) ausgerichtet sind

Verbesserung, Entwicklung und Verfeinerung von Prozessen

Besonders hervorheben möchten wir die Lithographieprozesse des PSI und zwar von der hochauflösenden E-Beam-Lithographie bis zur 3D-Sturkturierung. So erklärt Prof. Kirsten Moselund, Leiterin des Labors für Nano- und Quantentechnologien am PSI, dazu: «Die übliche Lithographietechnik zur Herstellung von Mikrochips ist schwarz-weiss, was bedeutet, dass sie dazu verwendet wird, ein zweidimensionales Muster zu schreiben. Aber jetzt können wir auch 3D-Strukturen erstellen, in einem Prozess, der als Graustufenlithographie bekannt ist.»

Ein wichtiger Anwendungsbereich für die Graustufenlithographie ist zum Beispiel die moderne Mikrooptik. Mikrooptische Systeme sind beispielsweise in jedem Tablet oder Smartphone integriert.

Die Experten vom PSI bieten auch eine breite Palette von Techniken zur Dünnschichtabscheidung für Dielektrika und Metalle sowie die dazugehörigen Trocken- und Nassätzfähigkeit an. Einige der Unterscheidungsmerkmale im Vergleich zu anderen Reinraumeinrichtungen in der Schweiz sind die Fokussierung auf die Verarbeitung von 8-Zoll-Wafern, um industrielle Zusammenarbeit zu ermöglichen, sowie Prozesse und Fachwissen für Quantentechnologien.

Der Schlüssel zum Erfolg

Was die Reinräume so erfolgreich macht, ist die Wahl der Ausstattung!
Professor Kirsten Moselund sagte dazu: «Im Allgemeinen begrüssen wir industrielle Partner in unseren Reinräumen – sie können die verfügbaren Werkzeuge unter den gleichen allgemeinen Bedingungen wie alle anderen Benutzer nutzen (zulässige Materialklasse und Prozesse). Wir vermieten keine dezidierten Räumlichkeiten im PSI-Bereich des Reinraums für Unternehmen, damit sie ihre eigenen Geräte installieren, aber wir sind offen für Diskussionen über den Kauf von Geräten durch Unternehmen, solange sie sie anderen Benutzern zur Verfügung stellen.»

Haben Sie Interesse an Projekten mit PSI-Wissenschaftlern oder Reinräumen im Allgemeinen?
Bitte kontaktieren Sie: info(at)parkinnovaare.ch